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上海交大无锡光子芯片商讨院。滨湖区委宣传部供图

6月5日，位于无锡市滨湖区的上海交大无锡光子芯片商讨院(CHIPX)迎来打破——首片6寸薄膜铌酸锂光子芯片晶圆在国内首个光子芯片中试线下线，同期收尾了超低损耗、超高带宽的高性能薄膜铌酸锂调制器芯片的范围化量产，重要工夫目标达到海外先进水平。

光量子芯片是光量子想到的中枢硬件载体，其产业化程度关系着量子信息范围自主可控政策。手脚滨湖区竞速量子科技赛谈的“头号工程”，亦然区域将来产业地标，上海交大无锡光子芯片商讨院于2022年底破土动工，并最初开动国内首条光子芯片中试线设立。如今，首片晶圆胜利下线，中试平台收尾量产通线。

据悉，手脚一种高性能光电材料，薄膜铌酸锂具备超快电光效应、高带宽、低功耗等上风，在5G通讯、量子想到等范围展现出远大后劲。关连词，由于薄膜铌酸锂材料脆性大，大尺寸薄膜铌酸锂晶圆的制备一直存在挑战。面前，凭借中试平台先进的纳米级加工开发和快速工艺迭代才能，该工艺团队通过大批工艺考证与优化，以深紫外（DUV）光刻与薄膜刻蚀的组合工艺，系统护士了晶圆级光子芯片集成瓶颈。

滨湖区是无锡集成电路产业主要勾搭区之一。这里构建了国度集成电路磋议中心、清华无锡商讨院智能产业立异中心等一批高能级科创平台；集勾搭成电路企业200余家，建成以中科芯、卓胜微、国芯微电子等企业为代表的集成电路磋议产业集群开云体育，入选全省特质产业集群。2024年集成电路产业收尾营收133.1亿元，增幅20.16%。（周梦娇）